Российские исследователи разработали инновационный принтер сухой аэрозольной печати, предназначенный для быстрого и экономичного изготовления компонентов микроэлектроники из наночастиц без применения растворителей, жидких чернил и связующих веществ. Об этом сообщили в Центре научной коммуникации Московского физико-технического института (МФТИ), передает ТАСС.
Новая технология ориентирована на производство пассивных элементов микроэлектроники, микродатчиков и каталитических структур. Главным преимуществом метода является отсутствие загрязнений, характерных для традиционной печати с жидкими чернилами, что негативно сказывается на качестве конечных устройств.
В отличие от классической фотолитографии, данный способ не требует дорогостоящих чистых помещений, вакуумных камер и агрессивных химических реагентов, а также уменьшает расход материалов, что способствует снижению себестоимости электроники.
Принцип работы устройства основан на формировании наночастиц непосредственно в процессе печати с использованием электрического газового разряда. Созданные частицы размером от 5 до 15 нанометров направляются на подложку сфокусированным аэрозольным пучком. Исследователям удалось подобрать режимы, при которых частицы не слипаются, формируя структуры нужного размера и формы, которые могут быть закреплены лазерной спеканием.
По словам ученых, полученные проводники по своим характеристикам сопоставимы с кристаллами серебра, что открывает широкие возможности для применения технологии. Кроме того, метод позволяет создавать наноантенны, сенсоры, пористые материалы для газовых датчиков и индуктивные элементы.
Разработанный в МФТИ принтер уже прошел государственные приемочные испытания и готов к запуску в серийное производство, что может существенно повлиять на будущее микроэлектронной промышленности в России.
